根据故障现象为液压油缸动作不良，判断出伺服阀阀芯在动作过程中有颤抖动作，其原因可分为电气和机械两大部分。因电气故障处理较快，为尽快维修，故从电气处理开始。
1.电气部分
设为电气部分出现故障，则有可能为控制信号串人交流信号、接线端子松动.连线接触不良。信号发生回路硬件故障，伺服放大回路硬件故障等原因。经检查，可以排除控制信号串入交流信号的可能，接线端子牢固无松动现象，连线无接触不良，更换信号发生回路硬件模块和伺服放大回路硬件模块，故障现象依旧，采用示波器测量，信号正常。至此，基本排除电气部分故障。
2.液压部分
分别依次排除以下故障的可能性：油压管道和油缸内有空气、液压油污染、油缸内漏严重、控制油路和主油路压力不稳定。最后认定是伺服阀本体故障。更换伺服阀先导部分.开机正常。
经拆开检查，发现力矩马达导磁体与衔铁缝隙中有许多金属屑，相当于减小了衔铁在中位时的每个气隙长度g。根据《液压控制系统》的分析结论：当|x/g |>1/3时(x为衔铁端部偏离中位的位移)，衔铁总是不稳定的。因此认为液压系统中的金属屑被吸附在永磁体上，减小了气隙长度g，破坏了力矩马达原有的静态特性，是本次故障的根本原因。
维护措施
针对本次故障原因，以及分析的其他可能，采取了以下措施：
1.定期更换油路滤芯，清理变质油
由于此次故障由液压油中金属污染造成，因此定期更换该系统油路中的滤芯，放掉滤油器中存油，可防止污物进入伺服阀，有效的防止故障发生，延长伺服阀的运行时间。
力矩马达和先导阀完全浸泡在与回油相通的油液里，位置又处于管道的盲端，所以该处的油液几乎不流动，易氧化变质，因此需定期放掉变质的液压油。
2.定期更换液压油，加强液压油的管理
液压油在长期工作中会氧化焦化，并且液压系统中的泵.阀、油缸等的磨损，会产生一些金属屑，它们会降低液压油的品质，造成故障。根据近几年液压油使用周期和油品化验结果，要每10个月更换一次液压油，才能保证设备无计划外停机。
3.定期更换伺服阀
此次故障的直接原因为力矩马达被污染导致伺服阀动作不良，因此定期清洗、更换力矩马达和先导阀，防止污染，从而杜绝故障发生。伺服阀的装拆应在尽可能干净的环境中进行，操作时应先去掉接到伺服阀上的电气信号，再卸掉液压系统的压力，然后拆下伺服阀。在干净、相容的商用溶剂中清洗所有的零件，零件可以晾干或用软气管以洁净、干燥的空气吹干。清洗后的伺服阀，可以作为备件轮流使用，降低费用。
4.定期更换检查电气信号，紧固接线端子，防止松动，检查连线，防止接触不良
伺服阀是精密制造的机电一体化产品，精度极高，对污染十分敏感，它在维护、清洁及对维护工作重要性的认识等方面的要求非常高，在实际使用中一定要引起足够的重视。