在需要停机维修机械真空泵前，首先必须先断开机械真空泵连接管道以保证机械真空泵己通大气压，然后让机械真空泵进行冷却，可先放掉泵内真空泵油，泵内油排放干净冷却20分钟以后才可拆开机械真空泵。
一、机械真空泵维护时间表
机械真空泵维护时间间隔应根据真空泵使用环境而定，如抽除气体中包含有水份、杂质、粉尘等异物就必须频繁检修真空泵，反之则可延长检修时间表。
1、每日需要维护事项，检查泵内油质、油位
2、每星期需要维护事项，检查真空泵是否漏油，进气滤芯用风枪清理残留在总成与进气滤芯上的灰尘与杂物。
3、每月需要维护事项，检查排气过滤器(油雾分离器)功能，是否存在冒烟、喷油等现象，如果出现问题则需要更换真空泵排气过滤器。
4、每6个月需要维修事项，检查真空泵泵腔体是否有灰尘、污垢、积碳、杂质等，必要时可对真空泵进行清理，包括油箱、泵体、风扇、风扇轮、通风格栅、冷却翅片。
5、每工作500~2000小时需要维护事项：更换真空泵排气过滤器、真空泵油、真空泵油过滤器，检查泵内浮子阀、及回油管道。
进行以上操作的时候，请确保真空泵在停机情况下进行。
二、真空泵油的检查
检查真空泵油的情况可通过油视镜观看到泵油的情况，如果泵油己低于油视镜“MIN”标记处，则应检查是否由于工艺需求导致。
真空泵油的着色必须是光亮、清晰的，不能存有泡沫或浑浊，油静止沉淀后有明显的乳白色物质和黑色碳晶特，则必须更换掉使用的真空泵油，加入同等型号真空泵专用油。
三、真空泵油的使用寿命
泵油的使用寿命取决于真空泵所处的工作环境，抽取干净、干燥的气体及工作温度低于100℃的工作环境下，一般每隔500-2000工作小时或每隔半年必须更换油及油过滤器，在非常恶劣的工作环境下，必须少于500工作小时换油，如果有抽除腐蚀性气体，必须得使用特制进气过滤器和专用合成油，必要时使用氟油。
四、真空泵油和油过滤器的更换
1、真空泵排油，切断真空泵电源20分钟以后，确保真空泵己通大气压，找到真空泵排油口(油视镜下方)，旋下排油口放出真空泵油，当泵油的流量较小时，可重新启动真空泵数秒，再次亲闭真空泵切断电源后重新打旋下排油口进行放油，多次重复此动作直至真空泵油排尽。
2、清洗真空泵，首先需将废油排尽，按照50%真空泵油，50%石蜡或柴油机燃料/燃料油比例调配2L清洗液;旋紧泄油塞，将此清洗液注入真空泵内，关闭进气口，启动真空泵运行至少30分钟;然后排放清洗液，并将排放的清洗液按照环保法规处理。
3、检查浮子阀：卸下回油管与油箱之间的接头，然后卸下浮子阀法兰的两个螺钉，从油箱内取出浮子阀;检查浮子阀是否清洁、是否损坏，必要时用压缩空气清洗。组装时注意浮子阀法兰上已安装密封圈并完好无损，将浮子阀放入油箱的正确位置。
4、更换油过滤器：在新的油过滤器内的密封圈上滴润滑油，组装并用手拧紧。
5、注入新油：旋下加油塞，注入真空泵专用油，须确保油位位于油位镜的“MIN”与“MAX”标记之间;旋紧装有密封圈的加油塞。
五、排气过滤器
1、真空泵运行时的检查：使用排气过滤器压力表检测排气过滤器是否堵塞，当压力表读数位于红色区域，说明排气过滤器已堵塞，必须更换。如果无排气过滤器压力表，则排气过滤器的阻力由驱动电机电流的变化来测定，驱动电机消耗过多的电流或真空泵的流量下降，说明排气过滤器已堵塞，必须更换。
如果排气过滤器压力表指示的压力比通常低，或驱动电机消耗的电流比通常少，原因是有一个排气过滤器损坏，需更换排气过滤器。如果排放的气体中含有油，原因是排气过滤器堵塞或损坏，须更换。排气过滤器不能彻底清洗干净，必须更换堵塞的排气过滤器。
2、更换排气过滤器前请先关闭真空泵并切断电源，确保真空泵已通大气压，从油箱上打开排气口盖板，借助专用内六用搬手拆下排气过滤器，将装有密封圈的新的排气过滤器开口端安装在油箱内正确位置上。
六、真空泵的大修
为了使真空泵的工作效率达到最高，使用寿命更长，其安装与校准有精确的公差。拆装真空最，校准公差将丢失。因此，拆装事项必须由“专业的真空泵厂家”公司提供服务。污染物质会残留在真空泵的气孔、间隙及内部;拆装含有污染物的真空泵会有损健康。拆装真空泵，操作人员必须穿戴防护装备。
七、真空泵停止使用
1、暂时停止使用：请先通大气压，然后断开管道或进气口连接。
2、重新使用：先拆下驱动电机的风扇罩，按照旋转方向，用手慢慢旋转风扇轮几圈，再安装风扇罩。开通电源启动。如长时间停止使用，需将真空泵油排除。